AFM og simpel litografi
Kalibrering af AFM Figur 2. AFM scanning af TGZ01. Målingerne verificerer at AFM’et er indstillet korrekt. Figur 1. Kalibreringsgitter TGZ01 med kendt gitterkonstant bruges til kalibrering af AFM’et.
Au fordampning Figur 4. Linjeprofil af figur 3b der viser en guldtykkelse på ~90nm, svarende til ca. 300 guldatomer. Figur 3a. Guldet fordampes under vacuum ind på Si skiven gennem et mikrogitter, hvorved små rektangler af guld afsættes på overfladen. Figur 3b. AFM scanning af et af de små rektanglers hjørner.
UV-litografi Figur 6. Linjeprofil af Au/Cr belægningen der viser en tykkelse på ~100nm. Figur 5. Illustration af litograferingsprocessen.